?? chính xác ch? báo c?a b? dò biên d?ng: ± (1,8+|2H|/100) ?m.

?? phân gi?i: 0,1 ?m (toàn d?i).

?? phóng ??i khi ?o ?? nhám: t?i ?a 500.000

B? dò này cho phép ?o ?? nhám và biên d?ng và ?ánh giá các chi ti?t x? lý chính xác.

?o ?? nhám: t?i ?a 3 mm/s.

?o biên d?ng: t?i ?a 20 mm/s.

T?c ?? di chuy?n: t?i ?a 60 mm/s.

Hi?u qu? ?o: cao h?n 10 l?n (so v?i các m?u máy tr??c).

Truy?n ??ng mô-t? tuy?n tính ??m b?o ?? chính xác cao và chuy?n ??ng v?i t?c ?? cao.

?? rung th?p ??m b?o ?o ?n ??nh h?n ? các m?c phóng ??i cao.